Le robot Dextro de Lam Research apporte une précision 2x à la maintenance des semi-conducteurs

Lam Research vient de lancer Dextro, un nouveau robot collaboratif conçu spécialement pour relever les défis de la maintenance des équipements de fabrication de semi-conducteursun nouveau robot collaboratif conçu spécialement pour relever les défis de la maintenance des équipements de fabrication de semi-conducteurs. Ce robot mobile est déjà opérationnel dans plusieurs usines de fabrication de plaquettes de haute technologie dans le monde entier, s'occupant de 50 à 100 chambres dans les outils Lam qui ont besoin d'une maintenance mensuelle.

Dextro est conçu pour relever certains des plus grands défis de la maintenance des semi-conducteurs et présente trois caractéristiques remarquables. Tout d'abord, il installe les pièces consommables avec une précision deux fois supérieure à celle du travail manuel, ce qui permet d'améliorer les performances de gravure sur les bords de la plaquette. Le robot serre également les boulons de scellement sous vide selon une spécification précise, éliminant ainsi le taux d'erreur habituel de 5 % de la main de l'homme. Cela réduit le risque de fluctuations de la température de la chambre qui pourraient perturber la production.

De plus, Dextro dispose d'une technologie automatisée de nettoyage et d'élimination des polymères qui permet d'éliminer l'accumulation de parois latérales dans la chambre sans démonter la chambre inférieure. Cela rend l'ensemble du processus plus sûr, en éliminant le besoin d'équipements de protection tels que les masques respiratoires, qui étaient indispensables lors du nettoyage manuel.

Young Ju Kim, vice-président et chef de l'équipe Memory Etch Technology chez Samsung Electronics, a fait part de ses réflexions sur l'importance d'une maintenance rapide et efficace : "Lorsque l'équipement de fabrication nécessite une maintenance, le travail doit être effectué rapidement et efficacement afin d'éviter les temps d'arrêt prolongés de l'outil et les coûts inutiles. La maintenance sans erreur assurée par Dextro contribue à améliorer la variabilité de la production et le rendement."

Pour l'instant, Dextro fonctionne avec les outils de gravure diélectrique des séries Flex G et H de Lam, et il est prévu d'étendre sa compatibilité à d'autres équipements d'ici à 2025. Le système fonctionne sur un chariot mobile et est contrôlé par les techniciens ou les ingénieurs de l'usine, qui utilisent des effecteurs différents pour chaque tâche de maintenance.